方阻测试仪主机主机技术能数
（1）测量范围：
     可测电阻率：0.0001～19000Ω•cm
     可测方块电阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
     输出电流：DC  0.001～100mA   五档连续可调
    量程：0.001～0.01mA
           0.01～0.10mA
           0.10～1.0mA
           1.0～10mA
           10～100mA
恒流精度：各档均低于±0.05%
（3）直流数字电压表：
     测量范围：0～199.99mV
     灵敏度：10μV
     基本误差：±（0.004%读数+0.01%满度）
     输出电源：≥1000ΩM
（4）供电电源：
     AC  220V±10%    50/60  Hz    功率：12W
（5）使用环境：
温度：23±2℃   相对湿度：≤65%
无较强的电场干扰，无强光直接照射
（6）重量、体积：
主机重量：7.5kg
体积：365×380×160（单位：mm  长度×宽度×高度）
四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。