2：无需更换夹具即可实现清洗前后工艺的结合。
3：可同时实现清洗、钝化、防锈、干燥等功能。
4：合理配置用水系统，实现DI水重复使用，用水量明显减少。
5：配置快速加热及恒温控制系统，适应大批量生产需求。
6：将内循环内隧道干燥相结合，在较低温度下可快速干燥。