采用3个步骤处理将空气纯化为分析级别的零空气。

——外部的无油空气压缩机使空气通过高效过滤器，用于除去任何可能损坏系统的粒子，使净化后的空气进入系统内且不损害内部的元件。过滤器有一个自动清洗系统, 用于除去油、水和大于5um的大颗粒物。 

——从过滤器出来的初步净化的空气进入一个高温的带催化剂的不锈钢腔室，通过氧化，使碳氢化合物的含量低于0.1 ppm； 

——使用1个高效过滤器，防止任何类型的粒子进入仪器。

1）碳氢化合物输出浓度：< 0.1 ppm；CO输出浓度：< 0.1 ppm；

2） 入口温度：40°C；

3） 工作环境温度：室温+15°C；

4） 入口的空气压力范围（调节到7 bar）：4.5 - 10 bar；

5） 气流量时的压力下降：< 1 bar；

6） 稳定性：45 min；

7） 入口尺寸：1/4" NPT；出口尺寸：1/8" NPT；

8） 电源：230V/50‐60Hz 或 115V/60Hz 或 100V/60Hz；

9） 尺寸（HxWxD）：41 x 55 x 23 cm