采用5个步骤处理将空气纯化为分析级别的零空气.

1）预过滤：空气进入高效的预过滤网，使净化后的空气进入系统内且不损害内部的元件。预过滤网可除掉大量的水和大于5um的大颗粒物。该过滤器带有自动的浮动水管，可定期移走产生的水分；

2）除去碳氢化合物和CO：初步净化的空气进入带催化剂的不锈钢腔室，在这里碳氢化合物和CO被氧化。该腔室装有高效的铂催化剂，它被加热到非常高的温度，以确保除去碳氢化合物，使其含量低于0.1 ppm；

3）空气干燥器中干燥：空气进入不锈钢双柱的空气干燥器中，可除去水蒸汽和CO₂。

4）除去NOx, SO₂,和O₃：空气干燥后进入个清洗器，通过吸附过程，可将NOx, SO₂,和O₃降低到0.1 ppm水平。NOx吸收清洗器在1年后会饱和，需更换掉；

5）终过滤：终端有1个高级的过滤器，它可除去99.99%大于0.5um的颗粒。这能确保不会有有害的颗粒进入气体分析仪而影响基线校正；

1）零空气输出流量：1.5、3.0、6、15、30L/min；

2）碳氢化合物输出浓度：< 0.1 ppm；CO输出浓度：< 0.1 ppm；CO₂输出浓度：< 5 ppm；NOx输出浓度：< 0.1 ppm；SOx输出浓度：< 0.1 ppm；

3）被除去的< 0.5um的颗粒物：99.99%；

4）输出的零空气温度；室温+15℃；

5）入口的空气的温度：40℃；

6）入口的空气压力范围（调节到7 bar）：4.5 - 10 bar；

7）气流量时的压力下降：< 1 bar；

8）出口气压：9 bar；

9）入口尺寸：1/4" NPT；出口尺寸：1/8" NPT；

10）尺寸WDH：470 x 250 x 400 mm；