HGPT-C型自动充气平衡精密光学隔振平台

特  点： 

本系列平台是在HGPT-B型光学隔振平台的基础上增加自动平衡功能, 采用空气伺服系统, 自动调整水平,台面的高度由空气调节阀在桌面运动的激励下维持和控制，把系统对微振的响应反馈到系统中, 改变隔振特性,当负载沿工作表面移动或发生突然变化时能够使台面自动维持水平.瞬间达到初始的平衡状态,提高光学隔振平台的隔振效果

主要参数：

·平面不大于0.05mm/m²

         ·表面粗糙度小于0.8um

         ·固有频率垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

         ·振幅不大于1.2um

         ·重复定位精度±0.05mm