主要技术指标

　　　质量流量控制器（流量计）流量出厂通常用氮气（N2）标定。

　　　质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；（SCCM行业标准）

　　　　　　　　　　　　L/min （升/分钟）。  （SLM行业标准）

　　　标准状态为：温度－－－－273.15K（0℃）；

　　　            气压－－－－101325Pa（760mmHg）

　　　F.S（Full Scale）:表示满量程值

表1 S49 32/MT质量流量控制器（流量计）技术指标

编号项目S49 32/MT

1流量规格（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min

（1,2,3,5,10）L/min

2调节阀类型电磁调节阀

3调节阀静止状态常闭

4准确度±1.5%F.S

5线性±1.5%F.S

6重复精度±0.2%F.S

7响应时间≤8秒（T95）

8工作压差范围（50～300）kPa;   （100～300）kPa（10L/min）

9耐压3MPa;           10MPa

10工作环境温度（5～45）℃

11材料不锈钢316L

12标准密封材料Viton®，    EPDM，  或其他由用户指定

13漏率1×10-8Pa.m3/s

14接头Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定

15输入输出信号（0～＋5.00）V （输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA）

16供电电源±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）

17外形尺寸mm130（宽）×102（高）×28（厚） 

18重量kg0．8

　　　S49 32/MT 质量流量控制器（流量计）特点：

　　　☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

　　　☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

　　　☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

　　　☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

　　　☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

　　　S49 32/MT 质量流量控制器（流量计）主要应用领域：

　　　半导体制造行业的气体流量控制；

　　　分析仪器设备的气体计量与控制；

　　　各种形式的真空镀膜设备；

　　　环境检测与分析设备；

　　　化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；

　　　特种材料表面处理装置与燃烧控制；

　　　混气配气系统和泄露探测系统等。

2. S49系列质量流量控制器（流量计）型号

　　　S49 32/MT 系列质量流量控制器（流量计），S49为质量流量控制器（流量计）产品，32/MT为本公司此产品设计序列号。

　　　质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量；

质量流量控制器（流量计）不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体的质量流量功能