产品介绍
Helios光致发光影像系统
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发布日期:2011/11/29 16:17:29
更新日期:2012/1/16 15:03:54
详细内容
Helios光致发光影像系统
Helios是全自动实时材料分级和过程控制的在线监控设备, 应用: | ||||
1. 线上监控或线下分析都适用 2. 采用InGaAs探头提升测量灵敏度,减少检测时间 3. 采用高灵敏光学成像技术,每片晶圆测试时间<1s 4. 鉴别并预防低质量材料进入高损耗工序,降低成本 5. 采用简单明了的图形界面和是非判定 6. 相比于其他同类PL系统更具性价比 | ||||