喷涂后的坩埚在专用烘箱内部经高温烘烤后，内壁高温固化后的氮化硅涂层可有效防止长晶时坩埚内壁与熔融硅料粘结，从而方便脱模，也可使坩埚得到重复利用，降低生产成本。

一、石英坩埚工艺洁净烘烤箱特点：

1. 全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

2. 耐高温，可以达到和工作场同样的地洁净等级；

3. 不锈钢外箱，美观大方；

二、石英坩埚工艺洁净烘烤箱技术参数： 

1． 送风方式：强制送风循环。

2． 温度范围：RT＋10℃～300℃。

3． 温度波动：<±0.5℃。

4． 温度均匀：±1.5% 。

    依测规范：测SENSOR置放点，离内箱壁内尺寸1/10处。

5．温控装置：日本富士P.I.D智能温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。

温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器。                    

测温装置：1支PT100 铂 电阻温度传感装置，测温精确。

定时装置：HS48S-99.99定时仪表。

6．内室材料：采用 1.0mm厚度SUS不锈钢钢板板金折弯加工，周身做氩弧焊满焊，密闭，氮气不泄露；外箱优质SUS不锈钢数字加工而成，美观大方 。

7．保温材质：硅酸铝。

8．特质复合式SUS304＃不锈钢电热产生器。

9．保护装置：超温保护，欠相保护,过载保护器，蜂鸣器，开门氮气自动中断保护。

石英坩埚工艺洁净烘烤箱： 传真: QQ:147224984 , 联系人：蒋鑫,参考网站：http://www.done-e.com.

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