• 0.5微米传感度
• 0.1立方英尺/分钟(2. 83 行数/分钟)流速
• 2通道同时数据显示
• 符合JIS标准
• 小巧外观
• 不锈钢外壳
• 状态指示灯
• 脉冲输出
• 面向设备监测系统的界面
• 多种配置可供选择
• 外置式真空源
• 值得信赖的设计

• 两年质量保证
• 空间有限时便于安装
• 每点高性价比
• 完整的验证数据
• 提供持续实时监测数据
• 综合安装系统
• 全球技术服务支持
• 用户低成本

• 洁净室监测
• 设备认证
• 设备监测
• SMIF 监测和FIMS封装
• 洁净室净衣区
• 洁净室包装区
• 半导体业
• 航天航空
• 硬盘制造业
• 医药包装和制造

微径大小

0.5-25.0微米

通道大小

标准:0.5,5.0 微米
标准: 0.5,10.0 微米

计数效能

50% @ 0.5 µm; 100% for particles>0.75µm (per JIS)

流速

0.1立方英尺/分钟(2. 83 行数/分钟)

激光源

激光二极管

零计数度

<1/ 5 minutes (per JIS)
<1/ 5 minutes (JIS) <1计数/5分钟(每JIS)

校准

NIST跟踪

真空要求

外置式真空度为>38.1厘米汞柱

通行模式

Pluse Output 脉冲输出

LED 指示灯

电源, 维修

接口

RJ 45 (数据)

软件支持

莱特浩斯微粒监测系统

浓度限制

2000,000个/立方英尺@5%重叠损失

外壳

不锈钢

电源

24伏直流电

尺寸

1.7英寸(长)×4.2英寸(宽)×2.5英寸（高）[4.3 x 10.7 x6.3 cm]

重量

12.5盎司(0.35公斤)