产品介绍
天津1700℃真空CVD系统
价 格：￥99999
型 号：CVD-1700
产品完善度：
生产地：其他访问量：29次
发布日期：2016/10/20 16:36:12
更新日期：2024/6/11 9:34:46
详细内容
主要功能和特点：
1、真空系统可根据使用要求选择我司扩散泵机组或分子泵机组；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4、每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全可靠。 5、采用水冷KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6、管路采用世界Swagelok卡套连接，不漏气；
7、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，保证设备及实验的安全性。主要用途和适用范围：适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所。主要技术参数：
主要技术参数：
| SGL-1700 高温炉 | 控温方式 | 采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序。 |
| 加热元件 | 进口1700型优质硅钼棒 |
| 工作电源 | AC220V 50Hz/60Hz；额定功率6kw |
| 炉管材质 | 99瓷氧化铝刚玉管 |
| 炉管尺寸 | Φ60/80/100*/1000mm |
| 工作温度 | ≤1600℃ |
| 温度 | 1650℃ |
| 恒温精度 | ±1℃ |
| 升温速度 | ≤10℃/min |
| 测温元件 | B型热电偶 |
| 密封方式 | 不锈钢水冷KF法兰挤压密封 |
| ZK 真空系统 | | ZK-F | ZK-K |
| 真空范围 | 0.1-0.001Pa | 0.1-0.01Pa |
| 极限真空 | 5.0*10^-5Pa | 5.0*10^-4Pa |
| 产品配置 | 双级旋片真空泵+分子泵 | 双级旋片真空泵+扩散泵 |
| 冷却方式 | 风冷 | 水冷 |
| 抽 速 | 110L/S | 100L/S |
| 测量方式 | 复合真空计 |
| 真空规管 | 电阻规+电离规 |
| ZDC-I 压强控制系统 | 测量范围 | 1*10^5～1*10^-1 Pa |
| 稳压 (真空)范围 | 1*10^3～1*10Pa |
| 压力 (稳定精度） | ±3% |
| 控制范围 | 2.5*10^3～5*10^-1 Pa |
| 控制精度 | ± 1% |
| HQZ-Ⅲ 混气系统 | 控制方式 | D07-7K质量流量计,D08流量显示仪 |
| 流量规格（可订制） | 0－500SCCM /0－1SLM, |
| 线 性 | ±1%F.S. |
| 准确度 | ±1%F.S. |
| 重复精度 | ±0.2%F.S. |
| 响应时间 | ≤2sec |
| 耐 压 | 3MPa |
| 气路通道 | 3通道（根据客户需求） |
| 针 阀 | 316不锈钢 |
| 管 道 | Φ6mm不锈钢管 |
| 接 口 | SwagelokΦ6mm |
