产品介绍
苏州无锡南通上海哈尔滨北京镇江天津常州无锡嘉兴成都重庆西安太原广州深圳厦门福州南昌安捷伦南通VS系列氦质谱检漏仪
价 格:¥1000
型 号:VSPR02,VSPD03,VSMR15,VSMD30
产品完善度:
生产地:其他访问量:164次
发布日期:2015/1/31 16:54:51
更新日期:2015/1/31 16:54:51
详细内容
VS系列氦质谱检漏仪是一款精良的宽量程氦质谱检漏仪,它含有涡轮分子高真空泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作员界面,以及可选功能组件。可选型号包括VSPR02,VSPD03,VSMR15,VSMD30。
VS系列氦质谱检漏仪应用领域:
VS系列全自动氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备;电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆;高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源;电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。
VS系列氦质谱检漏仪特点:
多种语言和计量单位选择,可选中文界面
135o电离偏转(自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构
新的电子线路及信号处理设计
小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
快速清氦和快速响应
测试口耐压高,可实现大漏检漏
技术指标:
VS系列氦质谱检漏仪应用领域:
VS系列全自动氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备;电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆;高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源;电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。
VS系列氦质谱检漏仪特点:
多种语言和计量单位选择,可选中文界面
135o电离偏转(自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构
新的电子线路及信号处理设计
小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
快速清氦和快速响应
测试口耐压高,可实现大漏检漏
技术指标:
性能指标 | PR02/PD03 | MR15和MD30 |
性能 | 前级泵内置式 | 前级泵外置式及小车 |
前级泵油式机械泵 | DS-42,2 m3/hr (34 l/m) | DS-302,14 m3/hr (232 l/m) |
涡卷式干泵 | 干泵-2 m3/hr (34 l/m) | TS-620 30 m3/hr (500 l/m) |
小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 | 5*10 -12 atm cc/sec;5*10 -12 mbar l/s;5*10 -13 Pa m3/sec ,氦气 | |
测试口耐压 | 13 mbar,10 Torr,1330 Pa | |
测试口处对氦气抽速 | 1.8 l/s | |
校准 | 自动或手动(内置或外置) | |
氦本底清零 | 按键清零,并具有零点追踪功能 | |
操作界面 | 高清晰彩显,TFT触摸屏 | |
语言选择 | 中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语 | |
循环检测 | 可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点 | |
响应时间 | <0.5秒 | |
设定点 | 标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点 | |
通讯协议 | RS-232 通讯接口,9600波特率(9芯串口) | |
执行标准 | UL,CE,CSA | |
无限远程控制(选件) | 2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA电池/5VDC电源 |