产品介绍
苏州南通上海北京郑州洛阳宜兴无锡常熟张家港镇江南京合肥济南青岛厦门福州漳州珠海如皋嘉兴嘉定英福康SQM160膜厚监测仪
价 格：￥1000
型 号：SQM160膜厚监测仪
产品完善度：
生产地：其他访问量：48次
发布日期：2015/1/31 20:22:31
更新日期：2015/1/31 20:22:31
详细内容
SQM160膜厚监测仪是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入，同时，4路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。
在大型系统中，传感器输入可以分配给不同材料，采集的数据通过平均值，以达到更精确的沉积控制；也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中，为了延长传感器的使用寿命，速率采集 模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1埃/s 还是0.01埃/s的速率显示模式.另外，还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。
数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows?窗口软件，可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数，包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel?文档。同时，USB或以太网选项也添加通信协议中，以程度方便不同用户。SQM160膜厚监测仪产品特点：
双通道（标准型），四通道可选
沉积速率/膜层厚度模拟输出
高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
RS-232 接口, USB 或以太网可选
