产品介绍
昆山苏州无锡南通上海北京济南青岛东营嘉兴桐乡湖州武汉成都重庆Cygnus 2 薄膜沉积控制器
价 格:¥1000
型 号:Cygnus 2 薄膜沉积控制器
产品完善度:
生产地:其他访问量:73次
发布日期:2015/1/31 20:34:24
更新日期:2015/1/31 20:34:24
详细内容
Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多独特的功能,可帮助您实现 OLED 过程的价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s,是行业中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能,赋予您的过程卓越的可重复性。
功能
- INFICON ModeLock 技术确保获得、稳定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度
- 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制多 6 个来源,无需使用两个或三个控制器
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
- 10 Hz 测量
- 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
- USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
- 多个源厚度合计功能
- 测量低密度、低速率材料的平均速率(使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积多 30 秒)
- 速率显示分辨率可达0.001Å
- 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
- 无沉积控制允许持续控制源,因为基片可以通过沉积室不断循环
- 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
- 可选以太网通信
- 符合 RoHS 标准