SQC310厚控制仪为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色. 同时可为您的应用选择理想的模式: 顺序镀膜(SQC310) 或共镀膜 (SQC310C).用于顺序镀膜, SQC310石英晶体膜厚控制仪装备有 2 个传感器输入, 2个源输出, 和8个数字输入/输出, 提供为这些数量加倍的扩展插件板选件用于共镀膜, SQC310C石英晶体膜厚控制仪监测多至 4 个石英晶体传感器, 带有 4 个PID 控制输出, 16个数字输入, 和16个继电器输出, 其他的则与SQC310 的规范相同。

SQC310膜厚控制仪功能概览

高清晰 1/4 VGA 有源矩阵彩色 LCD 显示器 – 提供有英文界面和中文界面

标准 RS-232 或 USB（带有以太网选项）

设有“Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作

Windows® 程序，用于开发、测试和下载过程，以及用于将仪器数据录入 PC 中以供过程分析和质量控制使用

精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz，0 至 50C 温度范围内频率稳定度为 ± 2 ppm

存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料

使用单传感器或多传感器监控源材料，提供精确的源分布监控 

SQC310膜厚控制仪选型：