产品介绍
昆山苏州无锡南通上海北京西安合肥南昌南京南通济南青岛东营嘉兴桐乡湖州武汉成都重庆Transpector 2残余气体分析仪
价 格:¥1000
型 号:Transpector 2残余气体分析仪
产品完善度:
生产地:其他访问量:70次
发布日期:2015/1/31 21:45:35
更新日期:2015/1/31 21:45:35
详细内容
Transpector 2残余气体分析仪Transpector® 气体分析系统是一种 RGA,可在半导体制造业中,为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。 与之相比,Transpector 2残余气体分析仪Transpector 2 提高了氢气灵敏度,使下限达 ppm 量级的污染均可一览无余,低电平信号下的扫描速度快达四倍,动态扫描范围更为宽泛,可在更低的可检分压强下提供更纯净的数据。
Transpector 2残余气体分析仪功能
- 100-amu、200-amu 和 300-amu 系统配备有法拉第杯或组合式电子倍增器/法拉第杯
- 提高氢气检测水平
- 优异的峰值振幅和位置稳定性
- 与原始 Transpector 相比,信噪比高达 10 倍
- 低电平信号下扫描速度更快
- 九个数量级的电子动态量程
- 针对单腔室系统和多腔室系统的软件选项
- 从 1 X 10 -4 Torr 到 5 X 10 -15 Torr 范围内的分压力测量