半导体单晶圆片蒸发清洗线腐蚀通风柜
本设备适用于微电子半导体各尺寸硅晶圆片的清洗腐蚀，整体设备用料为德国磁白色聚丙烯（PP）；门板采用德国透明聚氯乙烯（PVC）；腐蚀槽采用德国自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗采用德国自然色聚丙烯板（NPP）；关健部件采用进口件。设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动，以迅速实现两槽之间的硅片转换。另外，此设备腐蚀槽还配有美国聚四氟乙烯加热器、虹吸上排、传感器．清洗槽配有溢流装置，和N2鼓泡装置。适用于微电子半导体、LED、太阳能电池，LCD液晶等行业，也适合于高校化学实验室作实验设备。