半导体硅晶圆显影定影机
本设备可用于半导体工艺中对各种规格尺寸硅晶片进行显影和定影，整台设备均采用德国进口PP材料。双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可同时完成相应的工序。每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。 工作区洁净度：100级。槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S，工艺过程为全自动操作，为您节省工时和人工，适用于微电子半导体、LED、太阳能电池等行业，也适合于高校化学实验室作实验设备。