微电子实验室化学湿台腐蚀台
湿台整体采用德国进口磁白色PP板焊接而成，每个清洗槽都可同时清洗腐蚀2个花篮。槽体材质具有良好的抗腐蚀抗酸性能。机械手在槽间的转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。设备操作过程全自动控制，人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障报警装置，大大节省人工工时，适合于半导体微电子行业作清洗线，也适合于高校化学实验室作实验设备。