G100卧式激光干涉仪
G100卧式激光干涉仪的有效口径为100mm(4英寸)。乾曜光学 将世界先进干涉测量技术与大尺寸、大曲率镜片测量的市场需求相结合，优化光学系统和机械系统 结构，将高精度的成像系统和图像采集系统，稳定的激光干涉技术和1-6.7倍图像放大功能等一系列 高精技术融合，满足科研级高精密光学元件和光学系统的测量的高端要求。

主要用途： 球面类光学元件 （包括各类玻璃、塑料透镜、球 面反射镜、光圈量规、球面轴承 等）表面光圈、局部形变的测量， 球面曲率半径的测量（配合光栅 尺）。平面类光学元件（平面镜、 水晶、陶瓷、标准量块等）的表 面光圈的测量。光学系统的在线 监视装调和系统精度测量。

仪器规格参数表

干涉条纹分析软件

移相干涉条纹分析软件和静态干涉条纹分析软件供选择，实现数字化测量。

 

 

核心器件大品牌，性能稳定

 

1/2英寸尺寸黑白CCD，相对1/3英寸CCD加大的感光面积，有效提高成像分辨率；
进口氦氖激光器，性能稳定，寿命长。

 

 

人体工学，匠心设计

球面测量系统：

➢45mm宽规格导轨，精度高，滑动顺畅，五维调整架安装于导轨上方。
➢五维调整架XYZ平移全部使用直线导轨结构，线性好，弹簧辅助消间隙。
➢五维调整架可调同轴透镜座（三爪）夹持160mm。
➢可调同轴透镜座（三爪）调节螺杆反向螺牙设计，实现顺时针旋转收缩，逆时针旋转扩张

 

 

世界品牌球面测量系统，中国特供：

➢单根25mm细导轨结构，载物台直接在气浮平台上摩擦滑动，磨损气浮平台。
➢五维调整架XYZ平移全部使用交叉导轨结构，容易磨损产生间隙，不可消除。
➢五维调整架可调同轴透镜座（三爪）夹持仅110mm。
➢可调同轴透镜座（三爪）调节螺杆正向螺牙设计，顺时针旋转扩张，逆时针旋转收缩，与操作习惯相反，容易造成镜片摔落。

100mm和150mm球面标准镜头(G100和G150) 

 

 球面标准镜头系列有多个规格汇聚镜头和长焦距发散镜头，提供定制镜头。标准镜头分别与Zygo 4英寸和6英寸干涉仪通用。

 选配要点：

➢待测球面的R/D(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的F数，才能实现全口径测量；建议选取F数接近(略小于)被测面R/D值的球面镜头。
➢凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有效通光口径；凹面的测量范围受限于测试腔的长度(也即是仪器导轨的有效移动距离)与宽度(也即是载物台的横向尺寸)。

 

普通精度球面标准镜技术参数
型号	有效口径	材料	精度 （λ=633nm）
QY-150-Fxx	152.4mm(or 6 inches)	熔石英 (Corning 7980)	PV<λ/10
QY-100-Fxx	101.6 mm(or 4 inches)	熔石英 (Corning 7980)	PV<λ/10 和 PV<λ/20