一、仪器规格参数

    G5U-PH激光干涉仪是G10U-PH的高分辨率升级版，为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。

仪器规格参数表

硬件部分：

软件部分：

二、仪器特点

1、可满足超大像差的检测

随着手机行业的发展，3D屏及全面屏的摄像孔开始无限靠近弧边，相应的，透过波前的PV值也远大于之前的2D及2.5D屏。尤其是摄像孔边缘区域（贴近弧边）的干涉条纹会非常密集，超出G10U-PH激光干涉仪的分辨极限，导致无法准确测量。

G10U-PH的高分辨率升级版，型号G5U-PH便针对该特殊需求而设计，可以对超大像差实现准确分辨及测试。

注：Tilt数值对应平行度，PV（背景零场测试值）为背景调整为零条纹时，直接测量所得的PV值。 

1、空腔调整零场精度高

在测试摄像小孔区域的平行度时，需要预先把空腔调整至接近零条纹。当测试口径为Φ5mm时，由于观察视场非常小，调整零条纹的精度较低。为此，G5U-PH干涉仪引入辅助观察模式，可以在Φ30mm的大视场下调节空腔的零场，保证零场调节精度。

2、光源为进口He-Ne激光器（波长632.8nm）

    He-Ne激光器相比半导体激光相比有如下优点：相干性稳定、优良，干涉图的对比度及清晰度更高，且寿命很长（一般可达到2万小时以上）。半导体激光器随温度变化产生的温飘会使干涉条纹的对比度、清晰度周期性变差，对数字化测量有很大影响；且寿命较短，易被静电损伤。